Neuer Herstellungsprozess für 3-D Mikro-Bausteine

Microfabrica führt Design von Mikro-Geräten zu neuen Höhen

Die EFAB® Technologie ermöglicht kosteneffiziente millimeterdünne 3-D Mikrogeräte

Burbank, CA - 8. September 2004 - Die Microfabrica Inc., eines der dominierenden Unternehmen bei der Herstellung von Mikro-Geräten und Mikro-Systemen, hat den Leistungsumfang seines EFAB® Mikro-Herstellungsprozesse erweitert und bietet jetzt Strukturen mit einer Layer-Stärke von zwei bis 50 Mikrometer (1/1000 Millimeter) an.

Der neue Ansatz setzt auf der bewährten EFAB Technologie auf, die durch das mikromillimetergenaue Übereinanderlegen mehrerer Metallschichten die Fabrikation von dreidimensionalen Mikro-Geräten ermöglicht (Thick-Layer-Verfahren). Die Verbesserungen erlauben es Designern, noch komplexere Geräte und Systeme schnell und kosteneffizient zu bauen.
Anwendungsbereiche des neuen Thick-Layer-Ansatzes sind Druckerkopfdüsen, Inertialmessgeräte, magnetische Mikrosysteme und Zündgeräte.

Im Vergleich zu anderen Mikro-Herstellungsverfahren stellt der Thick-Layer-Ansatz des EFAB-Prozesses eine innovative Kombination von geometrischer Flexibilität bei der Mikro-Bearbeitung von Oberflächen und der High-Aspect Ratio Herstellung des LIGA -Ansatzes bei deutlich niedrigeren Kosten dar. Im Gegensatz zu LIGA ist die EFAB-Technologie nicht auf ein Ein-Schichten-Design mit einfachen Pressformen begrenzt, sondern erlaubt mehrere Ebenen unterschiedlicher Dicke aufeinander zu stapeln, um so komplexe und wirkliche 3-D Mikro-Geräte herzustellen.
"Anwender, die einen High-Aspect Ratio Ansatz wie LIGA suchten, rangen bisher mit hohen Kosten, 2-D Begrenzung, langen Produktionszeiten und begrenzter Verfügbarkeit", sagt Vacit Arat, President und CEO von Microfabrica. "Mit dem neuen Thick-Layer-Ansatz des EFAB-Verfahrens kann Microfabrica eine praktische,
kosteneffiziente Alternative zur High-Aspect Ratio Herstellung bieten."

"Dünne Strukturen wie Federn, Träger und Diaphragmen und dickere Strukturen wie Distanzstücke, Festpunkte und Andruckpunkte innerhalb desselben Gerätes zu bearbeiten, war bisher ein Problem in der Herstellung von Mikro-Systemen. Durch die Verbindung der High-Aspect Ratio Vorteile von LIGA mit der geometrischen
Flexibilität wird EFAB zur vielseitigsten Mikroproduktions-Technologie, die derzeit verfügbar ist. So werden bisher nicht realisierte Produkte und Anwendungen zum ersten Mal möglich", ergänzt Chris Bang, Vice President Design und Applications Engineering bei Microfabrica.

Der Microfabrica Thick-Layer-Prozess wurde mit Unterstützung des Small Business Innovation Research Phase II der National Science Foundation entwickelt. Die Erweiterungen, die mit dieser Förderung entwickelt wurden, sind in den Standard EFAB Prozess von Microfabrica integriert und stehen Kunden ab sofort zur Verfügung.

Weitere Informationen unter www.microfabrica.com.



Gegründet im Jahr 1999, ist Microfabrica heute ein führendes Unternehmen bei der Herstellung von Mikro-Geräten. Die wegweisende selbst entwickelte EFAB Technologie des Unternehmens eröffnet bei der Mikro-Fabrikation neue Wege mit bisher unbekannter Flexibilität, leichter Einsetzbarkeit und schneller Time-to-Market für eine Vielzahl von Anwendungsbereichen, wie Drahtlostechnologie, Unterhaltungselektronik, Automobil sowie Militär und Luftfahrt. EFAB ist die erste Herstellungs-Technologie, die echte dreidimensionale Mikro-Geräte durch das Schichten von mehreren Metallsebenen ermöglicht. Die Technologie eröffnet eine Welt neuer Möglichkeiten für komplexe Mikrogeräte und -systeme, wie sie vorher mit Hilfe bestehender Ansätze nicht möglich oder unpraktisch waren.

Microfabrica hat seinen Hauptsitz im kalifornischen Burbank.