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Omron baut seine MEMS Massendurchfluss-Sensor Familie D6F weiter aus

Für die Medizintechnik werden neue Versionen zur präzisen Messung hoher Gasmengen eingeführt

Hoofddorp, NL, 7. Oktober 2005 - Omron hat seine D6F-Familie präziser, auf MEMS-Technologie basierender, Massendurchfluss-Sensoren durch neue kompakte Modelle erweitert, die Gasströmungsgeschwindigkeit und Gasmasse mit hoch genauer Reproduzierbarkeit und Auflösung auch bei hohen Durchflussraten von bis zu 50 LPM (Liter pro Minute) erfassen können. Die neuen Sensoren eignen sich dadurch ideal für eine Vielzahl von Anwendungen wie Medizintechnik und Spektroskopie, wissenschaftliche Instrumente, Prüfsysteme und industrielle Prozessmesstechnik. Omron bietet seine auf einem ,MEMS Sensor Chip' (Micro Electro Mechanical System) basierende Massendurchfluss-Technologie außerdem in Modulform für einfache Integration in OEM-Applikationen an (ab ca. 100.000 Stück).

Neu vorgestellt werden die Produkte D6F-10A5-000, D6F-20A5-000 und D6F-50A5-000 mit Abmessungen von jeweils 78 (L) x 30 (H) x 30 (B) Millimetern und einem Messbereich von 0 bis 10, 20 bzw. 50 LPM. Jeder Sensor ermöglicht die präzise Erfassung von Gasmassen mit einer hohen Wiederholgenauigkeit von bis zu ±0.1 % und einer Genauigkeit von ±3 % vom analogen Aussteuerbereich. Bei allen Sensoren befinden sich der Gasein- und Auslass an der Unterseite. Horizontale Montage mit geeigneten " O"-Dichtringen sorgt hierbei für größtmögliche Genauigkeit und gewährleistet stabile, reproduzierbare Ergebnisse.

Die hohe Empfindlichkeit der D6F-Sensoren wird durch einen MEMS Sensor Chip erreicht, der eine Kantenlänge von 1,5 mm aufweist und nur 0,5 mm hoch ist. Er verfügt auf beiden Seiten eines winzigen Heizelements über je eine Thermosäule, auch Thermopile genannt. Unabhängig von der Gasflussrichtung entsteht an den beiden Thermosäulen eine Temperaturdifferenz, die als Differenzspannung der gemessen Gasmenge entspricht. Der MEMS Sensor Chip selbst ist mit einer Isolationsschicht versehen und kommt dadurch nicht mit dem Gas in direkten Kontakt. Fließt kein Gas, entsteht in der Umgebung des Heizelements eine gleichmäßige Temperaturverteilung. Sobald das Gas zu strömen beginnt, sinkt die Temperatur an der Thermosäule, die dem Gasfluss zugewandt ist, während die Temperatur auf der abgewandten Seite zunimmt. Anhand der gemessenen Differenzspannung kann die Strömungsgeschwindigkeit, Strömungsrichtung und Masse des Gases erfasst werden.

Diese MEMS Flow-Chip-Technologie wird als Standardsensor sowie in Form von kundenspezifischen OEM-Sensormodulen angeboten, in die der Gasströmungskanal und die Treiberelektronik integriert sind (für Applikationen ab etwa 100.000 Stück). Das Modul lässt sich für Luft- und Gas-Massendurchflussmessungen, Geschwindigkeitsmessungen sowie die Messung differenzieller Drücke adaptieren.

In der Medizintechnik erlauben die größeren Direkt-Massendurchfluss-Modelle der D6F-Serie von Omron eine insgesamt kompaktere Implementierung bei weniger Energieverbrauch und reduzierten Kosten. Die Sensoren ermöglichen das präzise und zuverlässige Messen der Luft- und Sauerstoffmenge von Beatmungsgeräten bei Operationen (zum Zweck der Rechnungsstellung), um die behördlichen Vorschriften zu erfüllen, sowie von Beatmungs- und Anästhesie-Ventilatoren und tragbaren Produkten für die häusliche Versorgung wie z.B. Sauerstoff-Konzentratoren und CPAP-Geräten (Continuous Positive Airway Pressure) zur Behandlung der obstruktiven Schlaf-Apnoe (OSA).

In kommerziellen Anwendungen sowie in industriellen Anlagen bzw. Ausrüstungen ermöglichen die für größere Durchflussmengen ausgelegten D6F-Modelle die sehr genaue Messung von Luft- und Gasströmen in Reinigungs- und Belüftungssystemen. Sie können darüber hinaus in Reinraum-Systemen und Rauchkammern genutzt werden, um genau geregelte Umgebungsbereiche zu realisieren, und damit das Ausdringen schädlicher Substanzen zu vermeiden.

 

Über Omron
Die Omron Corporation produziert eine breite Palette elektrischer und elektronischer Steuerungs-Anlagen und -Bauteile und ist auf der ganzen Welt als führender Lieferant hochwertiger High-Tech-Produkte bekannt. Das Geschäft von Omron mit elektromechanischen und elektronischen Bauelementen in Europa liegt in den Händen der Omron Electronic Components Europe (OCB-EU), die direkt der Zentrale mit Sitz in Japan unterstellt ist und eine Reihe Tochtergesellschaften in zehn wichtigen europäischen Staaten, darunter auch Deutschland, unterhält. Omron ist Europas führender Lieferant von elektromechanischen Leiterplattenrelais und ein führender Lieferant von Mikroschaltern, DIP-Schaltern, Opto-Schaltern, Fotomikrosensoren und Steckverbindern.

Weitere Informationen unter:

www.eu.omron.com

 

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