Beschleunigung und Vereinfachung des Testaufbaus von Charakterisierungs-Systemen

Keithley Instruments, Inc., ein weltweiter Anbieter von elektrischen Testinstrumenten und –systemen, stellt eine bislang einzigartige Verbindungslösung für I-V-, C-V- und gepulste I-V-Signale über ein einziges Kabelset vor (zum Patent angemeldet). Die neuen Kabelsets basieren auf einem zum Patent angemeldeten Design, das den Aufbau von Verbindungen für DC I-V- (Strom-Spannung), C-V- (Kapazität-Spannung) und gepulsten I-V-Tests moderner Halbleiter-Parameteranalysatoren mit einem Cascade Microtech oder SUSS MicroTec Prober beschleunigt und vereinfacht. Die Kabel sind kompatibel zum Halbleiter-Charakterisierungssystem Modell 4200-SCS von Keithley, können aber auch für die Charakterisierung mit anderen Testinstrumenten verwendet werden. Durch ihr Design sind diese leistungsfähigen Triax-Kabelsets ideal für Charakterisierungsaufgaben, die ein häufiges Umschalten zwischen verschiedenen Messarten erfordern. Durch diese neuen Kabel-Kits ist beim Wechsel zwischen verschiedenen Messarten keine Änderung der Verkabelung mehr notwendig. Dadurch lassen sich auch Messfehler auf Grund von Verdrahtungsfehlern vermeiden. Zwei Versionen des Kabelsets sind verfügbar – eines ist für den Einsatz mit Probern von Cascade Microtech optimiert und das Andere eignet sich für SUSS MicroTec Prober.

Die elektrische Charakterisierung von Halbleiterbauteilen und das Verständnis der Produktionsprozesse erfordern unterschiedlichste Messungen, einschließlich DC I-V-, C-V- und gepulster I-V-Messungen. Eine der größten Herausforderungen bei der Integration dieser Messverfahren in ein Charakterisierungssystem besteht in den unterschiedlichen Anforderungen an die Verkabelung der jeweiligen Verfahren. Zum Beispiel erfordern die I-V-Messungen mit kleinen Strömen ein Guarding, so dass Triax-Kabel benötigt werden. Die C-V-Messungen werden normalerweise mit vier Koaxialkabel durchgeführt, deren Außenleiter miteinander verbunden sind, um die charakteristische Impedanz der Signale zu gewährleisten. Gepulste Messungen erfordern die höchste Bandbreite der drei Messarten. Die charakteristische Impedanz der Verkabelung muß daher der Quellenimpedanz entsprechen um Reflexionen durch das Testobjekt (DUT) und die Quelle zu vermeiden. Die neuen Kabelsets von Keithley wurden speziell im Hinblick auf diese unterschiedlichen Anforderungen entwickelt. Die Verkabelung zum Prober-Manipulator muß bei den verschiedenen Messarten nicht verändert werden; die Kabel können einfach von einer Instrumentenverbindung zur nächsten übernommen werden, was die Umschaltung zwischen I-V-Messungen, C-V-Messungen und gepulsten I-V-Tests und damit den gesamten Bauteil-Charakterisierungsprozess vereinfacht. Außerdem sind Änderungen am Aufbau möglich, während die Messspitzen in Kontakt mit dem Wafer sind, so dass Pad-Beschädigungen reduziert und die gleiche Kontaktimpedanz für alle drei Arten von Messungen sichergestellt werden kann.

Kontinuierliche Systemerweiterungen gewährleisten hohe Produktivität

Das Modell 4200-SCS von Keithley ersetzt verschiedene elektrische Testwerkzeuge durch eine einzige, hoch integrierte Charakterisierungslösung, die sich für unterschiedlichste Anwendungen eignet. Diese reichen von der Entwicklung von Halbleitertechnologien und Prozessen über die Erforschung der Materialzuverlässigkeit sowie die Erforschung von Materialien und Bauteilen bis hin zu Laboranwendungen, die ein Benchtop-DC- oder Impulsinstrument benötigen. Keithley entwickelt die Hardware und Software des Modells 4200-SCS ständig weiter. Diese kontinuierliche Systeminnovation gewährleistet einen kostengünstigen Upgrade-Pfad, so dass die Anschaffung eines neuen Parameter-Analysators entfällt. Die Systeme lassen sich kostengünstig erweitern und sind damit für die steigenden Anforderungen weiterhin geeignet, zudem können gegenüber anderen Testlösungen die Investitionen in ein Modell 4200-SCS über viele Jahre verteilt werden.

Keithley Instruments, Inc., ein Anbieter von Lösungen für die Charakterisierung und den parametrischen Test von Halbleiter-Bauteilen, bietet seinen weltweiten Kunden verschiedene flexible Lösungen für I-V- (Strom-Spannung), C-V- (Kapazität-Spannung) und gepulste I-V-Messungen und Analysen an. Die Produkte reichen von Tischgeräten bis hin zu schlüsselfertigen Systemen und werden in unterschiedlichsten Anwendungen, wie in der Materialanalyse, Bauteilcharakterisierung, Wafer-Level-Zuverlässigkeit und der Prozessüberwachung, eingesetzt. Keithley arbeitet durch sein Netz aus Servicezentren und Applikationsingenieuren mit umfassender Erfahrung im Bereich der Halbleitertechnologie weltweit sehr eng mit den Halbleiterherstellern zusammen.

Verfügbarkeit

Zwei Versionen des Kabelsets sind ab sofort verfügbar – das Modell 4210-MMPC-C für Cascade Microtech Prober und das Modell 4210-MMPC-S für SUSS MicroTec Prober.

Weitere Informationen zu den neuen I-V-, C-V- und Impuls-Kabelsets oder anderen Halbleiter-Testlösungen von Keithley erhalten Sie unter:

www.keithley.com/products/semiconductor/?

Ein kurzes Video über das neue Produkt ist verfügbar unter:

www.keithley.com/events/proddemos/ktei

Über Keithley
Mit einer Messtechnikerfahrung von mehr als 60 Jahren gehört Keithley Instruments zu den weltweiten Unternehmen für elektrische Testinstrumente und -systeme von DC bis RF. Die Produkte des Unternehmens werden in der Produktion, Prozeß-Überwachung, Produktentwicklung und Forschung eingesetzt. Zu den Kunden des Unternehmens gehören Wissenschaftler und Ingenieure in der weltweiten Elektronikindustrie, die sich mit Materialforschung, der Charakterisierung von Halbleiterbauteilen und Wafern sowie der Produktion von Endprodukten wie elektronischen Baugruppen oder portablen drahtlosen Geräten befassen. Keithley bietet seinen Kunden eine Kombination aus Präzisionsmesstechnik und umfassender Anwendungserfahrung, wodurch Qualität, Durchsatz und Fertigungsausbeute verbessert werden können.

www.keithley.com